| |
| |
ÖпÆÔºÉϺ£¹â»úËùÄÉÃ×רÏîÑо¿È¡µÃ¶àÏî³É¹û |
| http://www.chinafm.org.cn¡¡2005-06-14 09:08:23 |
|
| |
|
|
½üÆÚ£¬ÔÚÉϺ£ÊпÆÑ§¼¼ÊõίԱ»áÖ÷³ÖÏ£¬·Ö±ð¶ÔÖйú¿ÆÑ§ÔºÉϺ£¹â»úËù³Ðµ£µÄÈýÏîÄÉÃ×ÏîÄ¿¡°ÄÉÃ×¾«¶È¼¤¹â¼¤Õñ²âÕñÒÇ¡±¡¢¡°¼¤¹âÓÕµ¼µç»¯Ñ§×é×°ÄÉÃ×µ¼µç¾ÛºÏÎºÍ¡°½ðÊôÄÉÃ×ÓÐÐò½á¹¹µÄÖÆ±¸¼°Ñо¿¡±½øÐÐÁËÑéÊÕ¡£ÑéÊÕ×éר¼ÒÈÏÕæÌýÈ¡Á˸÷¿ÎÌâµÄ¹¤×÷±¨¸æ£¬ÉóÔÄÁËÏà¹ØÎļþ×ÊÁÏ£¬¸ß¶ÈÆÀ¼ÛÁ˸÷¿ÎÌâµÄÍê³ÉÇé¿ö¡£
ÍõÏò³¯Ñо¿Ô±¸ºÔðµÄ¡°ÄÉÃ×¾«¶È¼¤¹â¼¤Õñ²âÕñÒÇ¡±ÏîÄ¿£¬ÔÚMEMS½á¹¹¼¤¹â¼¤Õñ²âÕñÁìÓòÈ¡µÃÁËÖØÒª³É¹û£¬³É¹¦ÑÐÖÆÁËһ̨¾ßÓÐ×ÔÖ÷֪ʶ²úȨµÄÄÉÃ×¾«¶È¼¤¹â¼¤Õñ²âÕñÒÇÑù»ú¡£Ñù»úÖ÷Òª¼¼ÊõÐÔÄÜ´ïµ½ÁËͬÀà²úÆ·¹ú¼ÊÏȽøË®Æ½£¬Äܹ»¶ÔMEMSµÈ΢½á¹¹½øÐм¤¹â¼¤Õñ²âÕñ£¬¼´ÒÔ¹âÖÂÇý¶¯µÄ·½Ê½Ê¹MEMS½á¹¹²úÉúÕñ¶¯£¬Í¬Ê±²âÁ¿ÆäÕñ¶¯£¬¼¤Õñ¹â°ßÖ±¾¶Ð¡ÓÚ10m£¬Õñ·ù²âÁ¿Öظ´¾«¶ÈСÓÚ3ÄÉÃ×£»Äܹ»ÄÉÃ×¾«¶È²âÁ¿ÎïÌåµÄÎ¢Î»ÒÆÓë΢Õñ¶¯£¬²âÕñÕñ·ù·Ö±æÁ¦´ïµ½0.1nm£¬Î»ÒƼì²â·Ö±æÁ¦´ïµ½0.1nm£»²¢Äܹ»ÏÔʾÎïÌåÕñ¶¯Î»ÒÆËæÊ±¼ä±ä»¯µÄÇúÏß¡£ÏîÄ¿×éÈ«ÃæÍê³ÉÁËÏîÄ¿ÈÎÎñÊéËù¹æ¶¨µÄ¸÷ÏîÖ¸±ê£¬Í¨¹ýÑéÊÕ¡£
¡°¼¤¹âÓÕµ¼µç»¯Ñ§×é×°ÄÉÃ×µ¼µç¾ÛºÏÎÏîÄ¿Öеĵ¼µç¾ÛºÏÎïÊÇÒ»ÀർµçÐÔ½éÓÚ°ëµ¼ÌåºÍ½ðÊôÖ®¼ä£¬ÐÔÄÜ¿ÉÓë½ðÊôæÇÃÀµÄ¾ÛºÏÎï£¬ËØÓС°ºÏ³É½ðÊô¡±Ö®ÃÀ³Æ¡£Ëü¾ßÓжÀÌØµÄµç×Ó¡¢µç»¯Ñ§ºÍ¹âѧÐÔÖÊ£¬ÔÚÄÜÔ´¡¢ÐÅÏ¢´æÖü¡¢¹âµç×ÓÆ÷¼þ¡¢´«¸ÐÆ÷¡¢¾üÊÂÒþÉí¼¼ÊõµÈ·½Ãæ¾ßÓÐÖØÒªµÄÓ¦Óá£ÕÔ³ç¾ü¸ºÔðµÄÏîÄ¿×éÀûÓ÷ÉÃ뼤¹â·øÕÕ¼¼ÊõÖÆ±¸Á˾ÛßÁ¿©¸´ºÏµ¼µç²ÄÁÏ¡£µ¼µç¾ÛºÏÎïµÄ³ß´ç·Ö±æÂʲ»µÍÓÚ150 nm£¬µ¼µç¾ÛßÁ¿©²ÄÁϵĵ¼µçÐÔ´ïµ½50 SÒÔÉÏ£»ÀûÓõ绯ѧ×é×°ÖÆ±¸µ¼µç¾ÛºÏÎﱡĤ£¬ÀûÓ÷ÉÃ뼤¹âÏà¸É³¡×÷Ó㬵õ½ÁËÖÜÆÚÐԵĹâÕ¤½á¹¹£¬Éî¶ÈΪ100ÄÉÃ×£¬·Ö±æÂÊ´ïµ½ÑÇ΢Ã×£¬µç»¯Ñ§ÊÙÃüÔÚÔËÐÐ250´ÎºóÈÔÈ»¾ßÓÐÁ¼ºÃµÄµç»¯Ñ§»îÐÔ¡£×¨¼Ò×éÈÏΪ£ºÀûÓøü¼ÊõµÃµ½µÄµ¼µç¾ÛºÏÎï¼°Æä¸´ºÏ²ÄÁϵÄ΢½á¹¹ÔÚ΢µç×ÓÆ÷¼þ¡¢Î¢¹âµç×ÓÆ÷¼þ¡¢Ì«ÑôÄܲÄÁÏ¡¢µç»¯Ñ§´«¸ÐÆ÷¡¢ºìÍâÎüÊÕ²ÄÁϵȷ½Ãæ¾ù¾ßÓÐÖØÒªµÄÓ¦Óú͹ãÀ«µÄÊг¡¼ÛÖµ¡£
Çñ½¨ÈÙÑо¿Ô±¸ºÔðµÄ¡°½ðÊôÄÉÃ×ÓÐÐò½á¹¹µÄÖÆ±¸¼°Ñо¿¡±ÏîÄ¿£¬ÀûÓ÷ÉÃ뼤¹âÓë²£Á§µÄÏ໥×÷Ó㬳ɹ¦ÊµÏÖÁ˽ðÊôÄÉÃ×Á£×ÓÔÚ²£Á§ÄÚ²¿¿Õ¼äÑ¡ÔñÐÔÎö³ö£¬È¡µÃÁ˶àÏî³É¹û¡£È磺ÀûÓ÷ÉÃ뼤¹âµÄ¾Û½¹ÕÕÉäºÍÈÈ´¦Àí£¬ÔÚ²£Á§ÖÐʵÏÖÁËÓпռäÑ¡ÔñÐԵĽð¡¢Òø¡¢²¬µÈÄÉÃ×Á£×ÓµÄÎö³ö£»Ìá³öÁ˽ðÊôÀë×Ó²¶»ñÓÉ·ÉÃ뼤¹âÕÕÉä²úÉúµÄ×ÔÓɵç×Ó¶ø»¹Ô³É½ðÊôÔ×Ó¡¢½ðÊôÔ×ÓÔÚÈÈ´¦Àí¹ý³ÌÖÐÒÆ¶¯²¢¾Û¼¯ÐγɽðÊôÄÉÃ×Á£×ӵĻúÖÆ£»·¢ÏÖ²¢½âÊÍÁËͨ¹ýµ÷½Ú·ÉÃ뼤¹âµÄÕÕÉäÌõ¼þ¿ÉÒÔ¿ØÖƵ¥Î»Ìå»ýÄÚ»¹ÔµÄ½ðÊôÀë×ÓµÄŨ¶È¼°½ðÊôÄÉÃ×Á£×Ó´óСµÄÏÖÏó£»·¢ÏÖ²¢½âÊÍÁËͨ¹ý·ÉÃ뼤¹â¶þ´Î¾Û½¹ÕÕÉä¿ÉÒÔ²Á³ý½ðÊôÄÉÃ×Á£×ÓÕâÒ»ÐÂÏÖÏ󡣸ÃÏîĿԲÂúÍê³ÉÁËÈÎÎñÊéÖеļƻ®Ä¿±ê£¬Ñо¿³É¹û¾ßÓÐÁ¼ºÃµÄ¾¼Ãǰ¾°£¬ÒѾʵÏÖÁ˶Բ£Á§ÄÚ²¿µÄÈýά¶àÉ«×ÅÉ«£¬ÔÚ²ÊÉ«¹¤ÒÕÆ·Êг¡¾ßÓйãÀ«µÄǰ¾°£¬²¢½«ÓÚ½üÆÚ½øÐвúÒµ»¯¡£
(Öйú¿ÆÑ§ÔºÍø) |
|
| |
|
|
| |
|