PZT/Pt异质结构的快速热处理研究

放大字体  缩小字体 发布日期:2018-01-30  浏览次数:203
核心提示:PZT / Pt 异质结构的快速热处理研究刘雨,郭杰,张超,欧全宏(云南师范大学 物理与电子信息学院,昆明 650500)摘
PZT/Pt异质结构的快速热处理研究
刘雨,郭杰,张超,欧全宏
(云南师范大学 物理与电子信息学院,昆明 650500)
摘 要采用射频磁控溅射方法在PtTi薄膜电极上生长铁电薄膜锆钛酸铅Pb(Zr0.3Ti0.7)O(PZT)。在不同快速热处理条件下对异质结构的晶体结构和表面形貌进行了研究,研究表明:衬底Si 和金属Pt 分别沿(100)和(111)方向取向生长,而PZT 薄膜快速热处理后晶粒沿(110) 方向取向生长,650℃退火后取向度最大,晶粒尺寸最大;700℃退火后(110)取向度减小,Pt 晶体取向导致PZT 晶核在其它晶向上产生;PZT 衍射峰强度和晶粒尺寸随升温速率减慢而显著增大;400℃阶梯式热处理工艺后,(110)取向度明显减小,晶粒相互吞噬成为横向生长。
关键词:Pb(Zr0.3Ti0.7)O;异质结构;快速热处理;晶体结构;取向度
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