氧化钒薄膜及其电学性能作为热电材料阻挡层前瞻性应用
姚富友，龙剑平，刘春海，陈青松
（成都理工大学 材料科学与化学化工学院，成都 610003）
摘 要：氧化钒是一种性质优良的氧化物， 多变的价态使得其具备众多优异的性质， 在各个方面具有广阔的应用前景。本文采用无机溶胶凝胶法制得以石英玻璃为基底的ＶＯ２薄膜（或掺杂Ｍｏ 的ＶＯ２薄膜） ， 并结合Ｘ 射线衍射分析、扫描电镜分析、相变测试分析和电阻温度曲线分析等现代测试技术分别对所制备的薄膜材料的相组成、表面形貌结构、相变温度及电阻温度曲线进行了讨论分析。实验发现： 掺杂Ｍｏ 离子后， 会使薄膜的结构致密度及结晶度提高； ＶＯ２薄膜材料在６８℃时电阻会发生突变， 并且掺杂Ｍｏ 离子后，其突变量级会明显增加； Ｖ２ Ｏ５薄膜向ＶＯ２薄膜转变的温度范围在４００６００℃， 并且最好的转变温度在４６０℃； 在退火后， 对ＶＯ２ 薄膜材料进行高温保温， 有助于ＶＯ２晶型的转变。（成都理工大学 材料科学与化学化工学院，成都 610003）
关键词：二氧化钒；无机溶胶凝胶法；薄膜；掺杂；退火
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