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北京泰龙电子技术有限公司 PECVD
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品牌： PECVD
样片尺寸： 8英寸及以下，单片装载，兼容小片
PECVD淀积均匀性： ≤±5％
样品加热系统： 可对衬底加热，沉积温度：250℃-400℃（CCP平板式），<250℃(ICP等离子体式)
单价： 面议
起订： 1 台
供货总量：
发货期限： 自买家付款之日起 120 天内发货
所在地： 北京
有效期至： 长期有效
最后更新： 2015-05-05 14:51
浏览次数： 7184
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明
 PECVD-200是全自动化机型，用于生成高质量SiNx、SiO2、Poly-Si等薄膜，控制系统由工控机+触摸屏+Labwindow系统组成，包含各种互锁功能及报警功能，更为安全可靠，且操作简单方便。

 

 
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