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来源：沙利文公司

上游的原材料供应商提供包括铝、铜、石英、陶瓷等在内的各类用于制作半导体设备零部件的金属及非金属材料。中游的零部件厂商生产包括机械类、机电一体类、光学类等在内的各类半导体设备零部件。零部件厂商的直接客户可分为两类，一类是半导体设备厂商，另一类是下游的 IDM厂商及晶圆代工厂（Foundry）。

半导体设备零部件行业产业链 

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半导体设备零部件的分类 

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在各类半导体设备零部件中， 机械类与光学类零部件通常具有较高的精度要求，对尺寸公差、表面光洁度及形位精度均有严格控制，需采用高精度加工与特殊表面处理工艺以确保其在极端工况下的稳定性、耐蚀性及光学性能，广泛应用于光刻、蚀刻、检测等核心设备中。 

机械类半导体设备零部件的分类

光学类半导体设备零部件是构成半导体核心设备中光学系统的关键组成部分，主要用于实现精确的光传输、聚焦、成像与检测，广泛应用于光刻机、激光加工设备、缺陷检测设备、对准系统等高端工艺环节。 

光学类半导体设备零部件的分类

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半导体设备零部件市场规模（按收入），中国

 2020-2029E，亿元 

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2020 年以来，中国本土半导体设备零部件制造厂商技术能力的进步以及品牌价值的提升推动了整体市场的国产化进程，但目前，市场的整体国产化率仍处于较低水平，在 2024 年约为 7.1%。 

半导体设备零部件国产化率，中国

2020， 2024， 2029E 

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• 国产化率不断提升：目前，中国本土半导体零部件厂商的技术工艺、产品精度等尚无法比肩海外厂商产品，尤其是在对技术要求较高的机电一体类、光学类、电气类、仪器仪表类零部件产品领域，市场的整体国产化率仍处于较低水平。随着未来国家层面对半导体零部件领域前沿技术研发的引导与激励，国产半导体零部件厂商的创新能力以及整体竞争力预计将持续提升，进而带动整体市场国产化率的不断提高。 
  
  

• 半导体设备零部件制造工艺的不断进步：零部件制造商在满足客户对半导体设备功能需求的同时，通过机械制造精度的提升以及对加工材料的精确控制，提高半导体设备的整体性能和使用寿命。 

  
  

• 零部件制造智能化的不断推进：随着半导体行业技术创新的不断演进，半导体设备零部件的制造过程日益复杂。智能化生产可以更好地整合和优化供应链，提高整体供应链的透明度、响应速度，并进一步降低库存成本。

半导体表面处理设备零部件是指应用于晶圆制造过程中清洗、抛光、蚀刻、去胶、镀膜等表面处理环节的关键部件，需在材料、结构、工艺精度、耐腐蚀性、洁净度及稳定性等方面满足严格的半导体制造要求。表面处理零部件对提升晶圆表面品质、保障工艺稳定性及延长设备寿命具有核心作用。 

半导体设备表面处理零部件市场的分类

半导体设备表面处理零部件市场规模（按收入），中国， 2020-2029E，亿元 

半导体设备涂层零部件，是指在半导体关键设备中的核心零部构件，其表面通过涂层处理工艺形成功能性薄膜涂层。 

涂层工艺是指将涂料、薄膜等材料以特定的方法涂布在基体（如陶瓷、金属、塑料、织物等）表面，形成具有特定功能和性能的固态连续膜的一系列操作过程，通过涂层，对工件起到防护、装饰或绝缘等功能性作用。 

涂层工艺简介

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半导体零部件涂层泛指应用于半导体制造过程中的各种涂层，用于改善零部件或产品表面的物理、化学或功能性能。覆盖范围包括防腐、防氧化、导电、绝缘、抗反射等，常用于晶圆、掩模、部件等不同材料。 

半导体零部件涂层工艺简介

半导体设备零部件特殊涂层处理产业链

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近年来，随着中国半导体产业链自主可控进程加快，晶圆制造企业对核心设备及其关键零部件的国产替代需求不断提升。特殊涂层零部件作为设备运行稳定性、良率保障和使用寿命提升的重要支撑，其市场关注度快速上升。 

中国半导体设备特殊涂层零部件市场规模（按收入），中国， 2020-2029E，亿元 

来源：沙利文公司，注：本市场规模数据包括半导体设备中应用的特殊涂层零部件销售收入及相关表面处理服务收入。

半导体设备特殊涂层零部件市场是面向先进制程设备的高附加值领域，也是半导体及泛半导体行业至关重要的高值易耗品，将特殊配方的陶瓷粉末等材料通过特定工艺涂覆在真空设备腔室零部件表面，形成超高致密性保护层。 

具有技术壁垒高、认证周期长、国产替代空间大等显著特征。该市场不仅包括零部件的销售，也涵盖与之配套的表面处理服务，二者融合度较高。

半导体设备特殊涂层零部件及介绍

来源：沙利文公司

半导体零部件设备的特殊涂层广泛应用于先进半导体设备中，如 7nm 及以下工艺节点所需的刻蚀机、 CVD、 ALD、离子注入等核心装备，其关键零部件（如腔体内壁、电极、 ESC 等）需通过等离子喷涂、 PVD 等高端工艺覆盖氧化钇、氮化钛等功能涂层，以提升其耐等离子体腐蚀、抗热冲击和低颗粒释放性能，确保设备在极端制程环境下长期稳定运行，有效支撑先进制程对良率和洁净度的严苛要求。 

半导体设备零部件特殊涂层处理技术类型与对比

该领域的技术难点主要在于涂层与基材之间的高附着强度要求、微观结构均匀性控制、高纯度涂层材料的应用、涂层厚度与致密度的稳定控制，以及在真空腔体极端工况下长期使用的可靠性验证。 

该领域具备显著的技术壁垒和国产化发展潜力，是当前半导体制造环节中的关键“卡脖子”点之一。

涂层零部件朝更高耐腐蚀性与更强等离子稳定性发展：国内企业在静电吸盘、 SiC 涂层石墨基座等核心部件上已取得长足进展。未来，企业将继续在精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接技术等方面加大研发投入，以满足半导体设备对零部件的高精密度、高洁净度和高耐腐蚀性要求。

先进金属等多元材料与复合工艺协同发展：随着钨接触孔、钛氮化物阻挡层、钴栅极等在先进金属互联结构中的应用深化，金属 CVD 和 ALD 设备中诸如气体喷嘴、反应腔、衬板等零部件，对表面处理工艺提出更高门槛。与此同时未来涂层不再仅依赖单一陶瓷材料，复合材料系统（如氧化钇+氮化硼、氧化铝+碳化硅）及先进工艺（如 PVD+ALD、等离子喷涂+表面致密化处理）将成为主流。工艺路线呈现定制化趋势，以适应不同设备与工艺段的极端工况需求。

国产替代推动高端涂层工艺全面升级：为支撑涂层零部件产业链发展，国内企业正逐步打通涂层材料研发、表面处理设备制造、涂层服务及失效分析检测能力，构建较为完善的本地化技术生态。部分领先企业已实现关键工艺设备与材料的国产替代，并开始向海外客户供货。 

截至 2024 年，中国半导体设备特殊涂层零部件市场呈现出高度集中的竞争格局。前五大企业合计占据了市场销售额的 55.7%。这一结构反映出该领域较高的技术壁垒与认证门槛，头部企业凭借在特殊涂层材料体系、表面处理工艺等方面的深厚积累，率先完成与主流晶圆厂的验证绑定，形成稳定的客户粘性。同时，特殊涂层零部件对产品一致性与交付能力要求较高，中小企业在设备、工艺迭代和客户认证方面仍面临显著挑战，市场资源加速向具备综合能力的领先厂商集中。 

中国前五半导体设备特殊涂层零部件， 以销售额计, 2024 

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光学产品是光学应用的设备或部件，主要包括光学元件、光学组件以及光学系统等。 光学器件是指利用光学原理实现各种观察、测量、分析记录、信息处理、像质评价、能量传输与转换等功能的光学系统中的主要器件。 

光学元件类型介绍

与传统光学不同，精密光学面向半导体、生命科学等高科技领域需求，主要生产精度较高、功能复杂的光学产品。基于结构与功能的差异，精密光学产品主要包括精密光学器件、精密光学镜头以及精密光学系统。根据其应用领域不同，可进一步分为消费级精密光学产品和工业级精密光学产品。

精密光学器件即通过精密光学技术生产的光学元件，与传统光学器件相比，其精度更高，工艺更加复杂，具有更优异的性能。 

精密光学器件与传统光学器件产品对比

来源：沙利文公司，注： R，反射率； Ravg，平均反射

精密光学系统在光学元器件的基础上，与自动化、信息化等技术进一步结合，能将光学信息进行数字化处理，通过生成的图像、频谱等各类数字信息，对生产制造、产品检测以及组合装配等工业过程进行自动化分析与指导。 

根据应用领域的不同，精密光学器件可细分为消费级精密光学器件及工业级精密光学器件，其中消费级精密光学元器件占据主导地位，但随着工业测量、激光雷达、航空航天、生命科学、半导体、 AR/VR 检测等新兴领域的市场需求增长，工业级精密光学将迎来快速发展趋势。

工业级精密光学器件广泛应用于工业测量、半导体制造、生命科学、无人驾驶、生物识别及 AR/VR 检测等高科技领域，是关键的配套组件。此类器件在工艺参数、技术性能、使用环境及功能表现等方面具备严苛要求，进而推动了更高精度工业级光学器件的发展。该类器件通常具有超大或超小尺寸、极高的面型精度及表面粗糙度控制等技术特点。其中，超大尺寸器件的面型精度最高可达 λ/200，表面粗糙度控制在0.1nm 以下。